Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀

產(chǎn)品時間：2024-03-28

由于Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀是非接觸式和非破壞性的，因此可以在不損壞樣品的情況下快速方便地進行測量。廣泛用于研發(fā)和在線質(zhì)量控制中的薄膜厚度測量。高精度、高穩(wěn)定性

產(chǎn)品介紹

由于Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀是非接觸式和非破壞性的，因此可以在不損壞樣品的情況下快速方便地進行測量。廣泛用于研發(fā)和在線質(zhì)量控制中的薄膜厚度測量。高精度、高穩(wěn)定性

Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀特點

可以非接觸、非破壞性方式測量薄膜厚度

厚度范圍從 10 nm 到 1000 μm，多可測量三層

不僅能測量薄膜厚度，還能測量光學(xué)乘數(shù)（n、k）(多達 3 個總參數(shù)）

支持微小點測量

還可測量濾光片顏料膜厚

Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀測量原理

假設(shè)在折射率為 n2 的基底上有一層厚度為 d、折射率為 n1 的薄膜，如圖所示。考慮從空氣（折射率 n0）入射到薄膜上的光線。光在美麗的路徑上被反射，在穿過薄膜并反射到基底表面的成分中，還有一個成分從薄膜中射出，可以作為反射光被捕獲。由于光是一種波，這些反射成分會相互干涉。考慮到入射光垂直于基底入射，這種干涉的減弱和加強取決于光學(xué)膜厚度 n d（即絕對膜厚度 n 乘以厚度 d）和波長。

膜厚原理.png

Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀技術(shù)規(guī)格

型號	TFW-100(1)	TFW-100(2)	TFW-100(3)
用途	ITO薄膜厚度	一般膜厚用	濾光片膜厚
膜厚范圍	10nm～500nm(C/F)	150nm～1.5μm(C/F)	500nm～10μm(C/F)
膜厚范圍	500nm～15μm(FFT)	1.5μm～60μm(FFT)	500nm～10μm(C/F)
測量重現(xiàn)性	0.2%～1%(取決于膜材質(zhì))
波長范圍	300nm～1000nm	400nm～700nm	900nm～1600nm
光源	Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀12V-100W 鹵素燈
測量軟件	TF-Lab (曲線擬合法/ FFT法)