日本MSA 晶圓加熱載體

產品時間：2024-03-28

晶片溫度特性測試，用于安裝探頭的熱卡盤玻璃卡盤，基材電特性測試
數字溫度控制器

產品介紹

主要應用。

晶片溫度特性測試，用于安裝探頭的熱卡盤玻璃卡盤，基材電特性測試

數字溫度控制器

通過一個一鍵式連接器連接到MSA工廠標準溫度控制器。通過簡單的操作可以立即進行高度精確的溫度控制。 pcc100_sg

支持定制的卡盤模式

標準卡盤模式：如果將工件放在中央卡盤孔中，可提供通用尺寸（例如6英寸、4英寸、3英寸和6英寸的卡盤）。如果有其他卡盤模式（如卡盤位置的規格），可以定制。

卡盤表面導電性/絕緣性/漏電性

卡盤表面有導電規格，如鍍金（最高200°C）和鍍鎳（最高400°C），也有絕緣規格，如礬土處理（400°C）和氧化鋁涂層。卡盤面配備了一個GND端子，這樣就可以連接到測量設備的GND上，等等。

特征

緊湊型晶圓卡盤加熱載體，高精度溫度控制

(±1.0%)

*如果需要更高精度類型的產品，請聯系我們。

低成本、薄型晶圓加熱載體

通過使用溫度控制器（單獨出售），可以進行廣泛的溫度設置。 (室溫-200°C)。

可提供各種附加功能的定制。

定位銷、晶圓尺寸切換桿等。

半導體晶圓的加熱程序管控

各種評價用界面、可以與您的設備相連接。


規格和定制	規格（標準）	定制設置
溫度設置范圍	室溫―200℃	○
加熱板功率	２00-４00W	○
工作臺尺寸	φ ７５～１00mm	○（其他定制尺寸）
工作臺材質	アルミ、SUS	○
選配	晶圓切換功能、工作臺安裝板等	○
*關于其他精元尺寸，PH200,300系列可以接受定制對應。
定制：○為可以為客戶定制需要的規格。

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